何謂純水，是水中電解質(zhì)幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質(zhì)、微生物、微粒、有機(jī)物、溶解氣體降至很低程度，都是經(jīng)過膜過濾或混合床等終端精處理的水。我國電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

  純水又稱純凈水，是指以符合生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當(dāng)?shù)募庸し椒ǎ频玫拿芊庥谌萜鲀?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水。

  超純水是在純水的基礎(chǔ)上進(jìn)一步將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)，離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計(jì)，設(shè)備選型，方可制造出超純水，電阻率可達(dá)18.20MΩ*cm。

在水質(zhì)要求達(dá)10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進(jìn)行組合搭配的方法來制取，例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。

  傳統(tǒng)的超純水設(shè)備設(shè)備是電滲析、離子交換器（陽床、陰床、復(fù)床、混床）。新型超純水制備設(shè)備是EDI（連續(xù)電除鹽技術(shù)）設(shè)備。EDI是將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)有機(jī)結(jié)合形成的一種新型除鹽技術(shù)?？梢杂行У娜コ袔缀跞康年庩栯x子，出水電阻率可穩(wěn)定在15MΩ.CM以上，連續(xù)運(yùn)行、無化學(xué)污染、水的利用率高，在超純水制備工藝上有著強(qiáng)大的優(yōu)勢廣闊的應(yīng)用前景。

  其中，RO反滲透技術(shù)是一種利用膜分離去除水中離子的方法，盡管反滲透系統(tǒng)將水中 95%-98% 的離子去除，但還不能滿足部分工業(yè)生產(chǎn)的要求，其后續(xù)工藝必須使用離子交換設(shè)備。近幾十年以來，混合床離子交換技術(shù)一直作為純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中使用大量的化學(xué)藥品（酸、堿）和純水，因此已很難滿足于無酸堿純水系統(tǒng)。

  將反滲透膜和樹脂結(jié)合的 EDI 技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場革命，解決了傳統(tǒng)的離子交換越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的難題。EDI技術(shù)應(yīng)用電再生離子交換除鹽工藝取代傳統(tǒng)混合離子交換除鹽工藝DI 。通過離子交換樹脂及選擇性離子膜達(dá)到高脫鹽效果，與反滲透結(jié)合的聯(lián)合工藝使產(chǎn)水水質(zhì)可達(dá) 電阻10~17M Ω· CM 的高規(guī)格產(chǎn)水。